3D共聚焦顯微鏡是一款專為工業(yè)和研究所設(shè)計(jì)的全新非接觸式3D光學(xué)輪廓儀。它設(shè)計(jì)簡潔、用途多樣。S lynx能夠測量不同的材質(zhì)，結(jié)構(gòu)，表面粗糙度和波度，幾乎涵蓋所有類型的表面形貌。它的多功能性能夠滿足廣泛的**形貌測量應(yīng)用。Sensofar的核心**是將3種測量方式融于一體，確保了其**的性能。配合SensoSCAN軟件系統(tǒng)，用戶將獲得難以置信的直觀操作體驗(yàn)。

    單一測量技術(shù)的系統(tǒng)缺乏多用性。當(dāng)面對一些觸及該技術(shù)的物理測量極限任務(wù)時(shí)，用戶僅有的選擇是修改測量參數(shù)。這樣的妥協(xié)將導(dǎo)致犧牲速度，分辨率和精度中的一個或多個。在Sensofar 的S系列測量系統(tǒng)中，隨“三合一”這一核心技術(shù)的來臨，您只需在SensoSCAN中輕輕點(diǎn)擊，系統(tǒng)將為您的測量任務(wù)呈現(xiàn)*佳的技術(shù)。這三種測量技術(shù)分別是：共聚焦，干涉和多焦面疊加。三種技術(shù)互相補(bǔ)充，共同成就了Sensofar**的多功能表面形貌測量性能。

    3D共聚焦顯微鏡共聚焦技術(shù)可用于測量各類樣品表面的形貌。它比光學(xué)顯微鏡有更高的橫向分辨率，可達(dá)0.09μm,利用它可實(shí)現(xiàn)臨界尺寸的測量。當(dāng)用150倍、0.95數(shù)值孔徑的物鏡時(shí)，共聚焦在光滑表面測量斜率達(dá)70°（粗糙表面達(dá)86°）。**的共聚焦算法保證Z軸測量重復(fù)性在納米范疇。

    白光干涉功能強(qiáng)大，廣泛應(yīng)用于測量表面形貌和透明膜。它特別適用于測量光滑和適度粗糙的表面。它的優(yōu)勢在于任何放大倍數(shù)都能確保納米級的縱向分辨率。

    多焦面疊加技術(shù)是用來測量非常粗糙的表面形貌。根據(jù)Sensofar在共聚焦和干涉技術(shù)融合應(yīng)用方面的豐富經(jīng)驗(yàn)，特別設(shè)計(jì)了此功能來補(bǔ)足低倍共聚焦測量的需要。該科技的*大亮點(diǎn)是快速(mm/s),掃描范圍大和支援斜率大（*大86°）此功能對工件和模具測量特別有用。

    用戶只需找到測量位置， 點(diǎn)擊3 D 測量按鈕，SensoSCAN的軟件將自動調(diào)整照明亮度，自動對焦，執(zhí)行*佳的測量模式，將精準(zhǔn)的測量結(jié)果于彈指間為您呈現(xiàn)。